1、技術條件：

   真空泵：  CUIMAN  RTO /70SW羅茨真空泵 +德國LEYBOLD SV65B旋片泵   

   極限真空度：0.04  mbar  /4*10-4mbar

   抽速：250m3/h(在入氣口不小于20mm的情況下，每立方米容積 抽真空時間小于25-30分鐘)

   功率：3KW  380V  50赫茲

   進氣口： 40-60mm

2、元件： 

        真空泵                               2臺     

        數(shù)字真空計                           1只    DISPLAY   0-105  Pa 

        閥門                                 2只       

        接口、連接頭                1只（VK/F-02/20,自封閥）

        機架                        1只      

        連接管道                    1根(DN20)5M

        控制電器                    380V  50HZ

        相序控制器                  1套

3．重量：200KG， 1000*700*1000mm